Contents
I. 서론 1

II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6

III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15

IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 21

V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 34
나. 플라즈마 응용 산업 현황 39
1) 반도체 산업 39
2) 디스플레이 산업 44
3) 의료 산업 44
4) 환경 산업 46
5) 농식품 산업 46
다. 특허 현황 48
1) 국내 49
2) 국외 65
3) 특허분쟁 81

VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 84
가. 국내 84
1) 한국핵융합에너지연구원(KFE) 85
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 89
3) 에이피티씨 91
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 94
5) 피에스엠 (PSM) 97
6) 기타 98
나. 국외 100
1) Plasma Ionic 101
2) relyon plasma 103
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 106
4) Nordson March 109
5) Plasmatreat 111

VII. 결론 114

VIII. 참고문헌 117