추천사

프롤로그

Part 1. 반도체란

반도체의 본명은 집적 회로

● 집적 회로란?

● 집적 회로의 탄생사

● 초고집적 회로

우리 주변의 반도체

● 메모리 반도체

● 시스템 반도체

● 반도체 기업의 분류

메모리 반도체의 기억법

● 디지털 정보 저장 방법

● DRAM의 정보 저장 원리

● 메모리 용량 가늠하기

전자가 움직이는 방법

● 수학의 언어적 속성

● 물질의 전기 전도도

● 전기의 흐름을 다루기 위한 기초 지식

● 물체 안에서 전자가 움직이는 방법

다이아몬드 탈을 쓴 실리콘

● 원자의 생김새

● 실리콘 원자와 결정 구조

실리콘 반도체

● 이동 전하의 생성과 움직임

● 실리콘 반도체

● 실리콘 반도체 기판(웨이퍼)

트랜지스터 이야기

● MOS 트랜지스터

● p-n 접합

● CMOS

커패시터 이야기

● 원자 분극

● 이온 분극

● 커패시터의 전하 저장 원리

● 커패시터의 전기 용량

Part 2. 반도체와 건축

DRAM의 건축학

● 집적 회로는 건축물이다

● DRAM의 건축법

● 집적 회로 건축법의 기초

● DRAM 건축하기

DRAM 건축 양식의 변천사

● 셀 트랜지스터 건축 양식의 변천사

● 셀 커패시터 건축 양식의 변천사

DRAM 건축 완공하기

● DRAM 셀 구축하기

● DRAM 건축 완공하기

NAND 플래시 메모리의 기억법

● 셀 트랜지스터의 구조

● 정보 저장 원리

● 다중 비트 저장하기

NAND 플래시 메모리의 건축학

● 기본 셀의 구조

● 셀 트랜지스터 수직으로 세우기

● 3D NAND 플래시 메모리 셀의 제조 과정

시스템 반도체의 건축학

● 변형된 Si 게이트 MOSFET

● 고유전 상수 게이트 MOSFET

● FinFET과 GAAFET

● 다층 배선의 특징

● 집적 회로 건축학을 마무리하며

반도체와 미술

● 집적 회로 아키텍처와 미술

● 수학과 추상화

Part 3. 반도체 제조법

열산화와 이온 주입

● 실리콘의 열산화

● 이온 주입

● 급속 열처리

● MOS 트랜지스터 제조 과정 되짚어보기

화학으로 박막 입히기

● 화학 기상 증착

화학으로 만든 박막

● 플라즈마 강화 화학 기상 증착

● 금속의 화학 기상 증착

원자 한 층씩 쌓아올리기

● 원자층 증착

당구와 상감 청자

● 물리 기상 증착

● 전기 도금

박막 장비, 부품, 소재

● 박막 장비와 부품

● 박막 장비, 부품, 소재 관련 기업

빛으로 패턴 새기기

● 빛 이야기

● 포토리소그래피

● 노광의 원리와 분해능

빛 새김 기술의 발전사

● ArF 액침 노광

● 다중 패터닝

● EUV 노광

● 포토리소그래피 장비와 소재 관련 기업

패턴 깎아내기

● 수직 식각

● 식각

● 식각 장비, 부품, 소재와 관련 기업

갈아내고 닦아내기

● 화학적 기계적 연마

● 세정

에필로그