장바구니 담기 close

장바구니에 상품을 담았습니다.

장바구니로 계속쇼핑하기
ALD(Atomic Layer Deposition) Report 원자층 증착 장비 시장조사보고서
미리보기

ALD(Atomic Layer Deposition) Report 원자층 증착 장비 시장조사보고서

  • 테헤란씨씨
  • |
  • 테헤란씨씨
  • |
  • 2017-09-15 출간
  • |
  • 118페이지
  • |
  • 189 X 258 X 6 mm /395g
  • |
  • ISBN 9791196184704
판매가

60,000원

즉시할인가

54,000 원

배송비

무료배송

(제주/도서산간 배송 추가비용:3,000원)

추가상품
상품선택
독서대 7,900원 독서대 선택안함 0원
수량
+ -
총주문금액
54,000원
장바구니 구매하기

※ 스프링제본 상품은 반품/교환/환불이 불가능하므로 신중하게 선택하여 주시기 바랍니다.

북스크린영상으로 만나보는 한 권의 책 이야기

출판사서평



원자층증착(Atomic Layer Deposition)은 화학적으로 결합하는 단원자층의 현상을 이용한 나노 박막 증착 기술이다. 기판과 공기층의 계면에 전구체 분자의 흡착과 치환을 번갈아 진행함으로 원자층 두께의 초미세화가 가능하고, 산화물과 금속 박막을 최대한 얇게 쌓을 수 있으며, 가스의 화학반응으로 형성된 입자들을 기판 위에 증착시키는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)보다 낮은 온도에서 박막 형성이 가능하여 최근 경쟁력 있는 증착 기법으로 산업계에서 주목을 받고 있다.


목차


I. Introduction 1
1.1 ALD의 정의
1.2 ALD의 장단점

II. ALD 응용분야 10
2.1 반도체 다이오드
1) 트렌지스터
2)　OLED 디스플레이
3) 메모리 소자
4) DRAM
5) NAND Flash Memory

2.2 Thin Film과 배터리
2.3 ALD와 광학 랜즈
2.4 정수처리

III. 세계 시장 동향 36
3.1 Overview
3.2 대륙별 시장 점유
3.3 중국 시장
3.4 중국제조 2025(Made in China 2025)

IV. ALD와 반도체 제조 분야 44

V. 전구체 시장 46
VI. 전구체 종류 49
6.1 금속박막용
1) 수소화물 전구체
2) 할로젠화물 전구체
3) 알킬 전구체
4) 시클로펜타디엔일 리간드 전구체
5) 알콕사이드 전구체
6) 아마이드 & 이미드 전구체

6.2 비금속 박막용
1) 산소
2) 질소
3) 탄소
4) 불소
5) 황, 셀레늄, 텔루륨
6) 인, 비소, 안티몬

VII. ALD 장비 벤더 59
7.1 국내 벤더
7.2 해외 벤더

VIII. 전구체 벤더 70

IX. 기업 소개 및 주요 제품 75
9.1 국내 제품
9.2 해외 제품
9.3 전구체 제품

X. 관련 특허 101
10.1 국내 특허
10.2 해외 특허

XI. 참고문헌 118
추천포스트

교환 및 환불안내

도서교환 및 환불
  • ㆍ배송기간은 평일 기준 1~3일 정도 소요됩니다.(스프링 분철은 1일 정도 시간이 더 소요됩니다.)
  • ㆍ상품불량 및 오배송등의 이유로 반품하실 경우, 반품배송비는 무료입니다.
  • ㆍ고객님의 변심에 의한 반품,환불,교환시 택배비는 본인 부담입니다.
  • ㆍ상담원과의 상담없이 교환 및 반품으로 반송된 물품은 책임지지 않습니다.
  • ㆍ이미 발송된 상품의 취소 및 반품, 교환요청시 배송비가 발생할 수 있습니다.
  • ㆍ반품신청시 반송된 상품의 수령후 환불처리됩니다.(카드사 사정에 따라 카드취소는 시일이 3~5일이 소요될 수 있습니다.)
  • ㆍ주문하신 상품의 반품,교환은 상품수령일로 부터 7일이내에 신청하실 수 있습니다.
  • ㆍ상품이 훼손된 경우 반품 및 교환,환불이 불가능합니다.
  • ㆍ반품/교환시 고객님 귀책사유로 인해 수거가 지연될 경우에는 반품이 제한될 수 있습니다.
  • ㆍ스프링제본 상품은 교환 및 환불이 불가능 합니다.
  • ㆍ군부대(사서함) 및 해외배송은 불가능합니다.
  • ㆍ오후 3시 이후 상담원과 통화되지 않은 취소건에 대해서는 고객 반품비용이 발생할 수 있습니다.
반품안내
  • 마이페이지 > 나의상담 > 1 : 1 문의하기 게시판 또는 고객센터 1800-7327
교환/반품주소
  • 경기도 파주시 문발로 211 1층 / (주)북채널 / 전화 : 1800-7327
  • 택배안내 : CJ대한통운(1588-1255)
  • 고객님 변심으로 인한 교환 또는 반품시 왕복 배송비 5,000원을 부담하셔야 하며, 제품 불량 또는 오 배송시에는 전액을 당사에서부담 합니다.